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    “中国芯”关键材料国产化

    三甲硅烷基胺 (TSA)
    • 中文名:三甲硅烷基胺
    • 英文名:Trisilylamine
    • CAS号:13862-16-3
    • 用途:通过流动化学气相沉积(FCVD)形成氧化硅
    • 纯度指标:99.65%
    • 规格:公斤级
    二异丙氨基硅烷 (DIPAS)
    • 中文名: 二异丙氨基硅烷
    • 英文名:Diisopropylaminosilane
    • CAS号:908831-34-5
    • 用途:形成晶种
    • 纯度指标:8N
    • 规格:公斤级
    四氯化钛 (Ticl?)
    • 中文名:四氯化钛
    • 英文名:Titanium tetrachloride
    • CAS号:7550-45-0
    • 熔点:-25℃
    • 沸点:135 - 136 °C
    • 蒸气压:12.8 hPa 在 20 °C
    • 产品等级:6N
    • 规格:15kg
    四乙氧基硅烷 (TEOS)
    • 中文名:四乙氧基硅烷
    • 英文名:Tetraethoxysilane
    • CAS号:1978-10-4
    • 熔点:-82.49℃
    • 沸点:168°C
    • 蒸气压:10.0 hPa 在 20℃
    • 产品等级:9N
    • 规格:17.7kg、35kg、200kg
    双(二乙氨基)硅烷 (BDEAS)
    • 中文名: 双(二乙氨基)硅烷
    • 英文名:Bis(diethylamino)silane
    • CAS号:27804-64-4
    • 熔点:<-10℃
    • 沸点:188℃
    • 产品等级:5N
    • 规格:10kg
    六氯乙硅烷(HCDS)
    • 中文名:六氯乙硅烷
    • 英文名:Hexachlorodisilane
    • CAS号:13465-77-5
    • 沸点:144 - 145.5℃
    • 产品等级:6N
    • 规格:13kg
    八甲基环四硅氧烷 (OMCTS)
    • 中文名:八甲基环四硅氧烷
    • 英文名:Octamethyl cyclotetrasiloxane
    • CAS号:556-67-2
    • 熔点:17-19℃
    • 沸点:175-176℃
    • 蒸气压:1 mmHg (21.7℃)
    • 产品等级:7N5
    • 规格:10kg、18kg、200kg
    四甲基硅烷 (4MS)
    • 中文名:四甲基硅烷
    • 英文名:Tetramethylsilane
    • CAS号:75-76-3
    • 熔点:-99℃
    • 沸点:26-28℃
    • 产品等级:7N5
    • 规格:10kg、20kg、110kg、125kg
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